型号名称

PHT-R-4

有效载荷

3kg（手部基座、手部、工作重量总和）

手臂

单臂
材质：铝、CFRP、陶瓷

安装环境

无尘室内大气环境、温度：10℃～35℃
湿度：70%RH以下

作业范围

X轴：500mm
θ轴：340度
Z轴：300mm
手转：0～180°

运行速度（最快）

X轴：500mm/sec
θ轴：200deg/sec
Z轴：250mm/sec
手动旋转：180deg/sec

机械手臂型号

PHT-R-4-2022

晶圆吸附方式

真空吸附/边缘夹持/边缘保持

机械结构格式

水平多关节型　圆柱坐标系

控制轴

4轴

电机类型

交流伺服电机　绝对编码器规格

重量

本体重量：约47Kg　控制器：约8Kg

控制电缆

3m（标准）、5m、10m

重复性精度

±0.1mm以内

控制规格 (1)

并行接口 32点输入 32点输出

控制规格 (2)

串行接口 RS-232C × 1线

洁净度

ISO标准 Class 2级（0.1 μm以上，10个/m³以下）

被搬送物

～300mm晶圆

*我们还可以灵活定制其他特殊工件、形状和材料

辅助设备

额定电压：单相AC200-230V±10%
额定电流：5A
真空：-80kPa以下10NL/min以上

控制器规格

控制器型号：MFD
控制通讯方式：RS232C 1线路数字IO
输入：32个接口 DC24V 8mA
输出：32个接口 DC24V±3V 0.1A以下