晶圆剥离清洗机 PWD2020

该设备是将线切后的晶锭进行预清洗→晶圆剥离→单片清洗→干燥→收纳至片盒的全自动处理系统。
通过热风加热方法进行晶圆剥离，剥离后的晶 圆经过2流体高压清洗～毛刷清洗～漂洗～干燥等单片清洗工序，最后利用机械手将其收纳至片盒中。

晶圆尺寸

晶圆剥离清洗机 PWD2010
晶圆剥离清洗机 PWD2020
φ4 ～ 8 inch
φ12 inch

标准规格

收纳
Open cassette / FOUP
片盒数量
Max 6个（25片装）
平板夹具
NTC制 / MB制 / TOYO制
驱动系统
伺服电机驱动
电源系统
AC200V，100A
设备重量
约5,000 kg
安全机制
片盒及晶圆在位监测，过载检测，异常报警，紧急停止等
选项
多片盒收纳，近场传感器，上料ID读取器，下料RFID读取器等
构成单元
晶棒预清洗单元、剥离单元、单片清洗单元、晶圆搬运单元、上下料单元

产品特点

  • 传送机构均由自主技术完成
  • 低运行成本
  • 可追加GEM标准通信
  • 可追加OHT（天车）搬运
  • 可追加Barcode或RFID读取功能
  • 可根据客户使用的台车或治具等定制相应配置

应用案例

手动剥离变更为自动化剥离
晶圆信息自动化管理