EFEM・分选机 P-EFEM
配备高性能交流伺服电机，以足够的负载能力实现高速搬运。可以定制化机器人、装载机数量。
标准规格
- 运输对象
- 300 mm晶圆
直径：φ300 ± 0.2 mm
厚度：775 μm
- 作业模式
- 300 mm FOUP 25步（SEMI E47.1）
300 mm FOSB 25步（SEMI M31）
- 电源电压
- 单相 AC200V ± 10% 50 / 60Hz ± 5%
- 消耗电流
- 包括 4kVA (20A / 200VAC) FFU
- 真空（原压）
- -80 kPa ～ -90 kPa
- 正压（原压）
- 0.6 MPa ～ 0.7 MPa
- EMO触点输出
- 2系统（干燥点）
- 互锁
- 输入8点/输出8点（绝缘I/O）
端口数
- TYK2102-2
- TYK2102-3
- 2个端口
- 3个端口
真空（流量）
- TYK2102-2
- TYK2102-3
- 40L/min
- 50L/min
正压（流量）
- TYK2102-2
- TYK2102-3
- 20L/min
- 30L/min
优点
- 可以安装一个或两个对准器，实现高效率运行
- 各种变化规格，自定义支持
- 200 mm / 300 mm均可使用