型号

PHT2200

可搬运质量

10kg（手部基座、手部、工作物重量的总和）

手臂

单臂
材料：铝、CFRP、陶瓷

安装环境

洁净室
空气温度：10℃～35℃　湿度：70%RH以下

作业范围

X轴：1050mm
θ轴：340deg
Z轴：400mm

运行速度（最快）

X轴：500mm/sec
θ轴：200deg/sec
Z轴：250mm/sec

机械手臂型号

PHT-R-3-2200

控制电缆

3m（标准）、5m、10m

晶圆吸附方式

真空吸附、边缘夹持、边缘保持

机械结构格式

水平多关节型　圆柱坐标系

控制轴

3轴

驱动源

伸缩、旋转、上下3轴 AC 伺服驱动

电机类型

交流伺服电机　绝对编码器规格

搬运手臂

采用CFRP+PEEK晶圆插入式设计。

映射

光电式透射传感器

重量

本体重量：约47Kg
控制器：约8Kg

被搬送物

～300mm晶圆
我们还可以灵活定制其他特殊工件、形状和材料。

控制规格（1）

并行接口 32点输入 32点输出

控制规格（2）

串行接口 RS-232C × 1线

重复性精度

±0.1mm以内

洁净度

ISO标准 Class 2级（0.1 μm以上，10个/m³以下）

厂务

额定电压：单相AC200-230V±10%
额定电流：5A
真空：-80kPa以下10NL/min以上

控制器规格

控制器型号

MFD

控制通讯方式

RS232C 1线 数字IO输入：32点，DC24V 8mA
输出：32点，DC24V±3V 0.1A以下